良率，亦稱“合格率”。產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)之一，指合格品量占全部加工品的百分率。在半導(dǎo)體工藝中，生產(chǎn)線良率表征的是晶圓從下線到成功出廠的概率；晶圓良率表征的是一片晶圓上的芯片合格率。生產(chǎn)線良率乘以晶圓良率就是總良率